Тепловой датчик массового расхода газа MEMS
Термальный датчик массового расхода газа — это тип датчика, основанный на принципе теплопередачи, который использует тепловой принцип MEMS для контроля массового расхода газа в трубопроводе.
Проточный чип состоит из двух термопарных элементов или датчиков температуры и нагревательного резистора или нагревательного элемента. Датчики температуры расположены симметрично перед и после нагревательного элемента. Горячие спаи нагревательного элемента и стопки термопар закреплены на изолирующем основании. Принцип измерения тепловых датчиков массового расхода основан на передаче тепла между нагревателем датчика и текущей средой.

Нагревательный резистор нагревает горячий спай термопары, а температурный градиент между горячим и холодным спаями приводит к образованию аналогового выходного напряжения. Когда жидкость неподвижна, температура на симметричных сторонах нагревательного резистора одинакова; когда жидкость течет справа налево, линия изотермы наклонена влево, и температура на двух сторонах нагревательного резистора больше не одинакова, и разницу температур можно измерить с помощью термопар на обеих сторонах нагревательного резистора. .
Поскольку теплопередача жидкости связана только с массой жидкости и теплоемкостью жидкости, датчик может напрямую измерять массовый расход жидкости. Массовый расход газа обычно измеряется в SCCM (стандартный кубический сантиметр в минуту) и SLM (стандартный литр в минуту), то есть в стандартных миллилитрах в минуту и стандартных литрах в минуту.
Особенности тепловых датчиков массового расхода
1) Тепловой датчик массового расхода газа имеет простую конструкцию и датчики MEMS. Небольшой размер, низкое энергопотребление и простота использования.
2) Он имеет преимущества небольшой потери давления и широкого диапазона температуры и давления.
3) Он может точно измерить скорость микропотока и большую скорость потока с помощью разделительного устройства. Может использоваться для пропорционального регулирования различных газов. Также может быть реализовано автоматическое управление потоком.
4) Отсутствие дрейфа, быстрый отклик, отличная стабильность и отличная повторяемость в течение длительного периода использования;
5) температурная компенсация и калибровка.
6)Кроме того, чип, используемый в датчиках расхода газа Winsen, изготовлен по новейшим технологиям и способен противостоять ударам и загрязнению.
Широкий спектр приложений:
Он широко используется для измерения неагрессивных, несильных кислот и сильных щелочных газов в системах контроля промышленных процессов, счетчиках частиц пыли, автоматизированном контроле, медицинском оборудовании, портативных приборах, отборе проб качества воздуха и оборудовании для мониторинга окружающей среды.


Модель | FR03 | FR03H | FR06 | FR15 |
Фото | ![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
Нормальный диапазон (SLM) | 0.1 / 0.2 / 0.3 / 0.5 | 1/2/3/4/5 | 10/15/20 | 0-300 |
Номинальный диаметр (DN) | DN3 | DN6 | DN15 | |
Выходной сигнал | Линейный 1–5 В/0.5–4.5 В | Линейный 1–5 В/0.5–4.5 В или цифровой IIC | Линейное аналоговое напряжение или цифровой IIC | |
Рабочее напряжение | DC5V-14V | |||
точность | ±(2±0.5FS)% | ±(2±0.5FS)% | 0-9SLM ±0.5SLM; 9-300SLM ±2.5% полной шкалы |
|
Рабочее давление | Настраиваемый | ≤200 кПа | Настраиваемый | / |
Рабочая температура | 0 ℃ ~ 50 ℃ | 5 ℃ ~ 60 ℃ | ||
Температура хранения | -20 ℃ ~ 80 ℃ | |||
Среда измерения | сухой, чистый, неагрессивный газ | |||
Электрический интерфейс | Контакты 2.54 мм-5P или клемма PH2.0-5P (опционально) | Молекс 87832-1010 | ||
Механический интерфейс | / | ISO3мм | φ6-G1/8 Пневматическая заглушка |
/ |
Модель | FR20 | F1012 | F1031 | F1031V |
Фото | ![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
Нормальный диапазон (SLM) | 150/200/300 | 0.03 / 0.05 / 0.1/0.2/0.3/0.5/1 |
50/100/150/200/300 | 100 / 150 / 200 / 300 |
Номинальный диаметр (DN) | DN20 | DN3 | DN20 | |
Выходной сигнал | LЛинейный 1–5 В/0.5–4.5 В или цифровой IIC | Линейный 1–5 В/0.5–4.5 В | Линейный 0.5-4.5 В | |
Рабочее напряжение | DC5V-14V | DC7V-14V | DC7V-14V | DC5V-14V |
точность | ±(2±0.5FS)% | ± 2.5% полной шкалы | ± 2.5% полной шкалы | ± 4% полной шкалы |
Рабочее давление | ≤200КПа | ≤200КПа | ||
Рабочая температура | 0 ℃ ~ 50 ℃ | 0 ℃ ~ 50 ℃ | ||
Температура хранения | -20 ℃ ~ 80 ℃ | -20 ℃ ~ 80 ℃ | ||
Среда измерения | сухой, чистый, неагрессивный газ | |||
Электрический интерфейс | Терминал PH2.0-5P | Штифты 2.54 мм-5P | Терминал PH2.0-5P | |
Механический интерфейс | ISO20мм | ISO3мм | ISO20мм |